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本实用新型提供一种芯片检测设备,涉及光电技术领域,包括:支撑件、图像采集器和承载装置;在承载装置上设置有用于承载待检测芯片的检测工位,支撑件一端设置于承载装置上、另一端设置有图像采集器;图像采集器的采集端与检测工位对应,用于对检测工位的待检测芯片进行图像采集。使得芯片检测设备能够对芯片进行快速且全方面的表面缺陷检测,利用图像采集器以图像信息进行检测的方式有效的提高了整个检测过程的效率,降低了检测时间。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212321471 U
(45)授权公告日 2021.01.08
(21)申请号 202021909611.5
(22)申请日 2020.09.03
(73)专利权人 浙江水晶光电科技股份有限公司
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