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2023-02-01 发布于四川
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本实用新型提供了一种MEMS压力传感器，包括器件板，所述器件板具有相对设置的第一表面和第二表面；所述器件板的第一表面上设置有岛结构、围设所述岛结构的固支结构、连接于岛结构和固支结构之间的四个梁结构，所述第一表面上还设置有由固支结构、岛结构和梁结构围设形成的膜结构；所述器件板的第一表面上还设置有分设于四个梁结构上的电阻装置，任意所述电阻装置均包括至少一个呈长方形的电阻，所述电阻均分别沿平行于各自的梁结构的延伸方向延伸。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212320965 U (45)授权公告日 2021.01.08 (21)申请号 202021966328.6 (22)申请日 2020.09.10 (73)专利权人苏