一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置.pdfVIP

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2023-02-01 发布于四川
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一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置.pdf

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本实用新型涉及一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，包括推车框架、用于盛放陶瓷盘的多个陶瓷盘架、万向滚轮和直行滚轮，万向滚轮和直行滚轮分别转动连接于推车框架的底部两侧，多个陶瓷盘架沿推车框架的高度依次安装于推车框架的内部，多个陶瓷盘架与水平面成成夹角θ倾斜设置，夹角θ的角度为10‑20度。本实用新型的碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，可以高效稳定的对各工序陶瓷盘进行转运，也可以用于临时存放陶瓷盘，操作方便，能有效保证生产效率和产品质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212332677 U (45)授权公告日 2021.01.12 (21)申请号 201921914353.7 (22)申请日 2019.11.06 (73)专利权人浙