一种可适时调节磁场角度的孪生旋转溅射阴极装置.pdfVIP

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2023-02-01 发布于四川
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一种可适时调节磁场角度的孪生旋转溅射阴极装置.pdf

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本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种可适时调节磁场角度的孪生旋转溅射阴极装置，其特征在于：包括外部旋转阴极装置和内部旋转磁棒装置，其中所述内部旋转磁棒装置包括磁棒及与所述磁棒独立连接的磁棒旋转控制装置，所述磁棒旋转控制装置连接驱动所述磁棒旋转，所述外部旋转阴极装置包括套设在所述磁棒外围的靶管及与所述靶管相连接的靶管旋转控制装置，所述靶管旋转控制装置连接驱动所述靶管旋转。本实用新型的优点是：1)在旋转阴极结构中加入了磁棒的旋转，实现靶材的保护及成膜均匀性的控制；2)成膜工艺变得更加灵活；3)

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212316234 U (45)授权公告日 2021.01.08 (21)申请号 202021643957.5 (22)申请日 2020.08.10 (73)专利权人光驰科技（上海）有限公司