一种MEMS电容式开关.pdfVIP

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2023-02-01 发布于四川
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一种MEMS电容式开关.pdf

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本实用新型提供了一种MEMS电容式开关，包括衬底以及设置于所述衬底上方的开关梁和有效电极，所述开关梁包括与所述衬底平行设置的横梁部和与所述横梁部垂直的延伸部，所述有效电极设置于所述横梁部和所述衬底之间，至少在所述MEMS电容式开关处于关态时，所述有效电极的顶壁与所述开关梁的横梁部相对，所述有效电极的侧壁与所述开关梁的延伸部相对，以形成电容器。本实用新型所述的开关整体结构简单，是一种能同时实现高关/开态电容比的MEMS电容式开关，与传统的仅有变间距平板电容的开关相比，减小了电荷注入，从而增加了开关

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212322916 U (45)授权公告日 2021.01.08 (21)申请号 202020986486.1 (22)申请日 2020.06.02 (73)专利权人瑞声声学科技（深圳）有限公司