一种镜头调倍结构、照明镜头以及直写曝光机.pdfVIP

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  • 2023-02-02 发布于四川
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一种镜头调倍结构、照明镜头以及直写曝光机.pdf

本实用新型公开了一种镜头调倍结构、照明镜头以及直写曝光机,涉及直写式曝光技术领域。该镜头调倍结构包括第一透镜、第一镜筒、第二透镜、第三透镜和调节组件,其中第一透镜活动设置于第一镜筒内且第一透镜与第一镜筒同轴设置,第二透镜和第三透镜沿第一镜筒的轴向间隔且相对设置于第一镜筒内,第二透镜和第三透镜均与第一透镜同轴设置且与第一镜筒固接,第一透镜位于第二透镜和第三透镜之间;调节组件包括调节件和设置于第一镜筒上的滑槽,调节件滑动穿设于滑槽内且能够带动第一透镜在第二透镜和第三透镜之间移动。通过调节件在滑槽里移

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212341674 U (45)授权公告日 2021.01.12 (21)申请号 202020894309.0 (22)申请日 2020.05.25 (73)专利权人 苏州微影激光技术有限公司

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