GB/T 41652-2022刻蚀机用硅电极及硅环.pdf

ICS29.045 CCSH 82 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT41652 2022 刻蚀机用硅电极及硅环 Siliconelectrodeandsiliconrin for lasmaetchin machine g p g 2022-07-11发布 2023-02-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT41652 2022 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 。 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别专利的责任 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )与全国半导体设备和材料标准 SACTC203 化技术委员会材料分技术委员会( / / )共同提出并归口。 SACTC203SC2 : 、 、 ( ) 本文件起草单位 有研半导体硅材料股份公司 山东有研半导体材料有限公司 新美光 苏州 半导 、 。 体科技有限公司 浙江海纳半导体有限公司 : 、 、 、 、 、 。 本文件主要起草人 库黎明 孙燕 闫志瑞 张果虎 夏秋良 潘金平 Ⅰ / — GBT41652 2022 刻蚀机用硅电极及硅环 1 范围 、 、 、 、 、 、 本文件规定了刻蚀机用硅电极及硅环的技术要求 试验方法 检验规则 标志 包装 运输 贮存和随 行文件以及订货单内容。 本文件适用于p100直拉硅单晶加工成的刻蚀机用直径 200mm~450mm的硅电极及硅环。