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线性串联的原子层沉积系统.pdfVIP

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  • 2023-02-02 发布于四川
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线性串联的原子层沉积系统.pdf

    本实用新型公开一种线性串联的原子层沉积系统，其中，所述线性串联的原子层沉积系统包括真空放卷装置、真空收卷装置、至少一个真空沉积装置及至少一个真空卷料辅助装置，真空放卷装置套设有卷料，用于将卷料拉出；真空收卷装置与真空放卷装置间隔设置，真空收卷装置用于将拉出后的卷料回收；至少一个真空沉积装置设于真空放卷装置和真空收卷装置之间，并依次连接；真空沉积装置用于对卷料沉积处理；真空卷料辅助装置设于相邻两个真空沉积装置之间、和/或真空沉积装置与真空放卷装置之间、和/或真空沉积装置与真空收卷装置之间。本实用新

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212335287 U (45)授权公告日 2021.01.12 (21)申请号 202020670207.0 (22)申请日 2020.04.27 (73)专利权人 深圳市原速光电科技有限公司

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