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本实用新型涉及一种可自动夹紧的真空镀膜旋转基片台,包括夹紧法兰,样品台,水冷法兰,密封法兰,升降法兰,电机支架,主动同步带轮,从动同步带轮,弹簧,电机,磁流体,第一导杆,真空室顶板,第二导杆,升降轴组件;夹紧法兰的两端分别固定设置在相互平行的第一导杆、第二导杆的底部;第一导杆和第二导杆自上而下依次设置有升降法兰、密封法兰和水冷法兰;升降轴组件能够抵压或远离升降法兰,在抵压升降法兰时能够使得夹紧法兰与水冷法兰分离;在远离升降法兰时能够在弹簧的作用下使得夹紧法兰带动样品台上升并与水冷法兰相贴合。其具
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212335276 U
(45)授权公告日 2021.01.12
(21)申请号 202020558463.0
(22)申请日 2020.04.15
(73)专利权人 磐石创新(江苏)电子装备有限公
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