泓域咨询/浙江电子化学品研发项目可行性研究报告
报告说明
湿化学品在集成电路制造领域的前道制程(晶圆制造)和后道制程(传统封装及先进封装)均有应用,涉及光刻、离子注入、CMP、电镀等多个工艺环节。按下游用途划分,湿电子化学品具体为通用湿化学品和功能湿化学品。通用湿化学品又称为超净高纯溶剂,常用于集成电路湿法工艺制程中的清洗、光刻、腐蚀等工序,主要用于清洗去除颗粒、有机残留物、金属离子、自然氧化层等污染物及在每个工艺步骤中的半成品上可能存在的杂质,避免杂质影响成品质量和下游产品性能。
根据谨慎财务估算,项目总投资3031.68万元,其中:建设投资1650.87万元,占项目总投资的54.45%;建
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