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一种硅片存放装置.pdfVIP

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  • 2023-02-02 发布于四川
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一种硅片存放装置.pdf

    本实用新型提供一种硅片存放装置，具有水槽，在所述水槽内设有用于承载并控制片篮的控制单元，所述控制单元带动所述片篮在所述水槽内升降或倾斜。本实用新型存放装置，尤其是适用于抛光过程中临时存放因设备异常暂停而导致无法继续流转的硅片，结构简单，易于控制，不仅可保护硅片的完整性，而且可防止硅片暴漏在空气中而报废，保证硅片流转的连续性，提升抛光机的稼动率，提高生产效率，降低生产成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212330687 U (45)授权公告日 2021.01.12 (21)申请号 202020774034.7 (51)Int.Cl.

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