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- 2023-02-02 发布于四川
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本实用新型公开一种原子层沉积密封装置，原子层沉积密封装置包括箱体和弧形盖体，箱体上设有放物口，弧形盖体与箱体转动连接，具有开启状态和关闭状态，当弧形盖体处于开启状态时，放物口与外界连通。当弧形盖体处于关闭状态时，弧形盖体与放物口密封盖合以在箱体中形成可被抽成真空的密封腔。本实用新型用于解决现有原子层沉积密封装置的开合门容易产生形变的技术问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212335283 U
(45)授权公告日 2021.01.12
(21)申请号 202020670122.2
(22)申请日 2020.04.27
(73)专利权人 深圳市原速光电科技有限公司
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