一种磁控溅射用旋转阴极.pdfVIP

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2023-02-02 发布于四川
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一种磁控溅射用旋转阴极.pdf

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一种磁控溅射用旋转阴极，其特征在于，包括底板，所述底板上设有支撑座和限位固定座，所述支撑座和所述限位固定座支撑旋转阴极，所述旋转阴极设有阴极柱，所述阴极柱套接有冷却管，所述冷却管底端连接活动座且顶端连接密封盖；所述支撑座上设有滑槽，所述滑槽内设有转轴，所述转轴穿过所述活动座位，所述滑槽内设有顶块，所述顶块和所述滑槽之间设有弹簧；所述支撑座内设有驱动机构，所述驱动机构在所述支撑座底部设有电机，所述电机的转动轴上设有传动轮，所述传动轮上方设有与之啮合的驱动轮，所述驱动轮通过支撑轴设在支撑座内。本实用

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212335275 U (45)授权公告日 2021.01.12 (21)申请号 202020751365.9 (22)申请日 2020.05.08 (73)专利权人南京仁创智能科技有限公司