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- 2023-02-02 发布于四川
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本实用新型公开一种气墙隔离装置和原子层沉积系统，其中，气墙隔离装置包括箱体，所述箱体内形成有送料通道，所述箱体开设有连通所述送料通道的进料口和出料口，所述进料口和所述出料口分别设于所述箱体的两侧；所述箱体还开设有连通所述送料通道的两第一进气口，两所述第一进气口分别设于所述箱体的顶部和底部；两进气组件，两所述进气组件分别设于所述箱体的上方和所述箱体的下方，且所述进气组件具有出气端，所述出气端与所述第一进气口连通，用于给所述送料通道内充入气体；加热组件，所述加热组件设于所述箱体的外表面，用于对所述箱
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212335282 U
(45)授权公告日 2021.01.12
(21)申请号 202020669719.5
(22)申请日 2020.04.27
(73)专利权人 深圳市原速光电科技有限公司
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