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纳米悬臂梁阵列及谐振式阵列气体传感器.pdfVIP

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  • 2023-02-03 发布于四川
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纳米悬臂梁阵列及谐振式阵列气体传感器.pdf

    一种纳米悬臂梁阵列及谐振式阵列气体传感器，该纳米悬臂梁阵列包括衬底和悬臂梁阵列，悬臂梁阵列的每个悬臂梁均包括：支撑层，设置在衬底上，与衬底接触的一端形成U型悬臂梁支撑臂，支撑层远离U型悬臂梁支撑臂的一端悬空设置在衬底上；金属导电层，设置在支撑层上；以及敏感层，设置在远离U型悬臂梁支撑臂一侧的金属导电层上，其上设有敏感单元。本实用新型采用双臂支撑的悬臂梁结构，可以有效提高传感器的灵敏度；采用双臂支撑结构的悬臂梁阵列具有多个敏感单元，可以快速高灵敏地响应多种化学气体。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212341096 U (45)授权公告日 2021.01.12 (21)申请号 202022032507.9 (22)申请日 2020.09.16 (73)专利权人 中国科学院空天信息创新研究院

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