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- 2023-02-03 发布于四川
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本实用新型属于流体输送设备技术领域，具体涉及一种压电微泵的错层支承结构及气体控制装置。一种压电微泵的错层支承结构，包括：压电微泵，所述压电微泵包括共振板、压电振子和电极组件，所述共振板和压电振子依次层叠设置，所述压电振子的远离所述共振板的一侧连接有电极组件；支承板，所述共振板的远离压电振子的一侧被所述支承板支承，所述共振板与所述支承板之间存有间隙以形成进气腔，所述支承板对所述压电微泵进行支承和约束。一种气体控制装置包括：一种压电微泵的错层支承结构和壳体。解决了现有技术中的压电微泵需通过周向延伸的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212337587 U
(45)授权公告日 2021.01.12
(21)申请号 202022082110.0
(22)申请日 2020.09.21
(73)专利权人 常州威图流体科技有限公司
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