《传感器与检测技术》 课件 第9章 霍尔式传感器.pptx

传感器与检测技术第9章 霍尔式传感器本章内容传感器与检测技术工作原理01测量电路02典型应用03整理得—霍尔常数—霍尔元件的灵敏度洛伦兹力电场力电子积累便达到动态平衡霍尔电动势或控制电流9.1工作原理传感器与检测技术1霍尔效应 半导体薄片，若在它的两端通过控制电流I，并在薄片的垂直方向上施加磁感应强度为B的磁场，那么，在垂直于电流和磁场方向上(霍尔输出端之间)将产生电动势(霍尔电动势)UH，这种现象称为霍尔效应。 若磁感应强度B不垂直于霍尔元件，则霍尔电势为 当控制电流方向或磁场方向改变时，输出电动势方向也将改变。 但当电流和磁场方向同时改变时，霍尔电动势方向不变。 如果所施加的磁场为交变磁场，则霍尔电势为同频率的交变电势。9.1工作原理传感器与检测技术2霍尔元件 霍尔元件的结构由霍尔片、引线和壳体组成。在短边的中间以点的形式焊上两根控制电流端引线11′，称为控制电流极，在元件长边两端面上焊上两根霍尔输出端引线22′，称为霍尔电动势极。 霍尔元件一般采用N型硅、锗、锑化铟和砷化铟等半导体单晶材料制成。锑化铟元件输出较大，但受温度影响也较大。锗元件输出虽小，但它的温度性能和线性度却比较好。砷化铟元件输出没有锑化铟元件大，但受温度影响却比锑化铟小，且线性度也较好。因此，采用砷化铟为霍尔元件的材料受到普遍重视。9.1工作原理传感器与检测技术基本特性34霍尔集成元件 霍尔电动势一般是毫伏数量级的，在实际使用时必须加运算放大器。利用集成电路工艺技术将霍尔元件、放大器、温度补偿电路和稳压电路集成在一块芯片上即可形成霍尔集成元件，它具有灵敏度高、传输过程无抖动，功耗低、寿命长、工作频率高、无触点、无磨损、无火花等特点，能在各种恶劣环境下可靠、稳定地工作，可分为线性输出型和开关输出型两大类。 霍尔元件分为线性特性(霍尔线性器件)和开关特性(霍尔开关器件)两种。 1.线性特性当控制电流和环境温度—定时，霍尔输出电动势与磁场B之间不完全呈线性关系，只有当元件工作在0.5T以下时，线性度才比较好。 2.开关特性 霍尔元件的输出电动势在一定区域随B的增加迅速增加的特性。5基本误差及其补偿9.1工作原理传感器与检测技术(1)元件的几何尺寸、电极接点大小对性能的影响(2)零位误差不等位电动势补偿原理图1)不等位电动势及其补偿 当控制电流I流过元件时，即使磁场强度等于零，在霍尔电极上仍有电动势存在，该电动势就称为不等位电动势。 不等位电动势的产生原因是由于霍尔电极安装位置不对称或不在同一等电位面上，此外，材质不均匀、几何尺寸不均匀等原因，也会产生不等位电动势。 确知电极偏离等位面的方向，就可以采用补偿的方法来减小不等位电势。2)寄生直流电动势 由于霍尔元件的电极不可能做到完全欧姆接触，在控制电流极和霍尔电动势极上都可能出现整流效应。因此。当元件通以交流控制电流(不加磁场)时，它的输出除了交流不等位电动势外，还有一直流电动势分量，这电动势就称为寄生直流电动势。寄生直流电动势与工作电流有关，随工作电流减小而减小。 霍尔电动势极的焊点大小不一致，两焊点的热容量不一致产生温差也是造成寄生直流电动势的另一个原因。 为了减少寄生直流电动势，在元件制作和安装时，应尽量改善电极的欧姆接触性能和元件的散热条件。5基本误差及其补偿9.1工作原理传感器与检测技术(3)温度误差及其补偿1)采用恒压源和输入回路串联电阻3)选取合适的负载电阻2)采用恒流源和输入回路并联电阻4)采用补偿元件9.2 测量电路传感器与检测技术 控制电流由E供给，RP为调节控制电流大小的调节电阻。RL作为负载电阻，也可以是放大器的输入电阻或指示器的内阻。9.3 典型应用传感器与检测技术1霍尔式电流传感器霍尔钳形电流表可测范围从直流电到几十千赫兹的交流电 3霍尔式压力传感器9.3 典型应用传感器与检测技术2霍尔式位移传感器 由弹性元件(膜盒或弹簧管)将被测压力转换成位移，霍尔元件固定在弹性元件的自由端上，弹性元件产生位移带动霍尔元件在梯度磁场中移动，从而输出霍尔电动势。5霍尔式接近开关9.3 典型应用传感器与检测技术4霍尔式转速传感器 在被测转速的转轴上安装一个齿盘，也可选取机械系统中的一个齿轮，将线性型霍尔器件及磁路系统靠近齿盘。齿盘的转动使磁路的磁阻随气隙的改变而周期性地变化，霍尔器件输出的微小脉冲信号经滤波及放大电路处理，可得每秒脉冲数m，进而确定被测轴物的转速n。 当磁铁接近霍尔器件时，霍尔器件将磁铁的磁信号转化为电信号，经晶体管放大，输出开关量信号，控制电路的通断。霍尔接近开关只能用于铁磁材料的检测，且需要建立一个较强的闭合磁场，所以一般还配一块钕铁硼磁铁。9.3 典型应用传感器与检测技术6霍尔式特斯拉计（磁场）