原创力文档- 6
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- 2023-02-03 发布于四川
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本实用新型涉及夹持装置技术领域，尤其是一种静电卡盘及基板夹持装置，包括放置箱体，放置箱体的一个侧壁上设有开口，放置箱体的内壁上对称连接有若干支撑板，若干支撑板之间等距设置，若干支撑板的底部均同轴设有压板，若干压板接近放置箱体内壁的一侧上对称垂直连接有两个定位杆，放置箱体内壁对应处设有条形槽，条形槽的长度等于支撑板与位于下放且相邻的压板之间的距离，定位杆的另一端贯穿对应位置处的条形槽设置，位于放置箱体外部的定位杆形成两排。本实用新型设置的支撑板能够对放置在压板顶部的基板、静电卡盘进行稳定的夹持，且
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212355630 U
(45)授权公告日 2021.01.15
(21)申请号 201921905361.5
(22)申请日 2019.11.07
(73)专利权人 临沂晶华陶瓷有限公司
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