原创力文档- 14
- 0
- 约9.91千字
- 约 10页
- 2023-02-03 发布于四川
- 举报
本实用新型属于蚀刻技术领域，提出了一种湿法蚀刻装置，包括壳体、蚀刻部件、位移部件、基板安装架，所述位移部件、基板安装架自上而下依次安装在壳体内部，且与壳体内壁连接；所述蚀刻部件与位移部件连接，所述基板安装架安装有基板，所述基板位于蚀刻部件下方，所述蚀刻部件在位移部件的驱动下横向往复移动，蚀刻基板；所述基板的一端向壳体底部倾斜。本实用新型基板的一端向壳体底部倾斜，有利于多余的蚀刻液及时从基板表面流出，防止蚀刻液集聚在基板表面过量蚀刻，造成蚀刻不均匀，影响基板品质。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218416826 U
(45)授权公告日 2023.01.31
(21)申请号 202222711510.2
(22)申请日 2022.10.14
(73)专利权人 易安爱富（武汉）科技有限公司
地址
文档评论（0）