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会计学;2;主 要 内 容;11.1 XPS的基本原理;X射线光电子能谱（ XPS ，全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy）是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱。 能谱最初是被用来进行化学分析，因此它还有一个名称，即化学分析电子能谱（ ESCA，全称为Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）;X射线物理;11.1 XPS的基本原理;X射线激发光电子的原理; 电子能谱法：光致电离； A + h?? A+* + e;; 11.1.1 原理方程 光子的一部分能量用来克服轨道电子结合能( EB)，逃逸消耗Ws ，余下的能量便成为发射光电子(e - ) 所具有的动能 ( EK)，这就是光电效应。用公式表示为： Ek = hν- EB –Ws ;11.1.2 XPS的基本原理涉及的名词;11.1 .3 XPS应用涉及的基本概念;在入射光子能量一定的前提下，同一原子中半径越小的壳层，?越大； 电子的结合能与入射光子的能量越接近，?越大; ?越大说明该能级上的电子越容易被光激发，与同原子其它壳层上的电子相比，它的光电子峰的强度越大。;（2）XPS信息深度