一种光学准直模组.pdfVIP

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2023-02-07 发布于四川
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一种光学准直模组.pdf

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本实用新型涉及半导体光学技术领域，提供了一种光学准直模组，该光学准直模组采用变焦结构，包括设置在镜筒内的同光轴布置的准直镜组和一个调焦移动单元，准直镜组包括多个准直镜片，调焦移动单元用于驱动多个准直镜片中的一个沿着光轴移动，实现对光源不同波段照明光的准直；本实用新型的光学准直模组能够进行变焦，适应了不同波段光源的准直需求，提高了光路设计的灵活性和使用范围，可以在半导体、芯片等需要高精测量的领域推广应用。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218446242 U (45)授权公告日 2023.02.03 (21)申请号 202222611515.8 (22)申请日 2022.09.30 (73)专利权人苏州矽行半导体技术有限公司地址