一种石英坩埚高效清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-02-07 发布于北京
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本实用新型涉及石英坩埚清洗装置技术领域,且公开了一种石英坩埚高效清洗装置,包括清洗仓,所述清洗仓右侧的底部连通有排污管,所述清洗仓左侧的顶部固定连接有清洗剂存放仓,所述清洗仓的左侧固定安装有位于清洗剂存放仓底部的抽液泵,所述抽液泵的底部连通有与清洗仓左侧的底部连通的出液管。该石英坩埚高效清洗装置,通过将石英坩埚放置在挡环与三个橡胶球之间,然后启动顶部旋转电机,使转杆转动,使螺纹杆通过与第二螺纹通孔螺纹连接而向左侧移动,从而使三个连接杆分别拉动三个夹杆,使三个夹杆通过滑块与滑轨滑动连接而相互靠近,

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212384231 U (45)授权公告日 2021.01.22 (21)申请号 202020510276.5 (22)申请日 2020.04.09 (73)专利权人 江苏华尔石英材料股份有限公司

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