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- 2023-02-07 发布于四川
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本实用新型涉及太阳能电池制造领域，具体为一种磁控溅射设备靶材的打磨装置。包括打磨平台，打磨平台顶面一侧连接电机箱，电机箱内连接第一伺服电机，电机箱一侧连接第一支座，第一支座一侧转动连接第一卡盘，第一伺服电机的转轴穿过第一支座与第一卡盘连接，打磨平台顶面固定有滑轨，滑轨上滑动连接第二支座，第二支座面一侧转动连接第二卡盘，打磨平台顶面开设滑槽，滑槽内滑动连接第一滑块，第一滑块顶部连接滑板，滑板顶部滑动连接打磨机，第一滑块内套设丝杆，丝杆一端连接第二伺服电机，第二伺服电机与打磨平台内腔连接。本实用新型
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218427462 U
(45)授权公告日 2023.02.03
(21)申请号 202222516536.1 B24B 41/06 (2012.01)
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