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用于在多阴极处理腔室中使用的工艺配件、多阴极处理腔室和用于在多阴极处理腔室中使用的工艺配件部件.pdfVIP

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  • 2023-02-07 发布于北京
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用于在多阴极处理腔室中使用的工艺配件、多阴极处理腔室和用于在多阴极处理腔室中使用的工艺配件部件.pdf

    公开用于在多阴极处理腔室中使用的工艺配件、多阴极处理腔室和用于在多阴极处理腔室中使用的工艺配件部件。工艺配件包括以下中的一个或多个：锥形屏蔽物、可旋转的屏蔽物、护罩、内部沉积环、外部沉积环或盖环。在一些实施方式中，工艺配件包括：可旋转的屏蔽物，可旋转的屏蔽物具有底座、锥形部分和套环部分，锥形部分从底座向下且向外延伸，套环部分从锥形部分向外延伸；内部沉积环，具有腿部分、平直部分、第一凹部与第一唇部，平直部分从腿部分向内延伸，第一凹部从平直部分向内延伸，第一唇部从第一凹部的最内区段向上延伸；和外部沉

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212392209 U (45)授权公告日 2021.01.22 (21)申请号 201890001014.7 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理

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