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本申请公开了一种晶圆包装容器用固定结构及用于晶圆包装容器的盖体,其中,固定结构设置于包装容器盖体内表面上,包括:伸缩机构,第一支撑臂和第二支撑臂,其中,伸缩机构安装于盖体内表面上,其自由端固定连接有定位座;第一支撑臂和第二支撑臂设置于伸缩机构的两侧,且分别铰接有活动臂,各活动臂还分别与定位座活动连接,所述活动臂能够随着伸缩机构的伸缩运动发生相对移动。本申请所公开的固定结构利用可移动的活动臂能够保证晶圆可以轻易地卡接到定位座上被锁住,且利用伸缩机构的伸缩性,有效解决了现有的硬质固定结构易形变造成崩
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212402068 U
(45)授权公告日 2021.01.26
(21)申请号 202020446413.3
(22)申请日 2020.03.31
(73)专利权人 厦门通富微电子有限公司
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