一种晶圆保护装置.pdfVIP

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2023-02-08 发布于四川
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一种晶圆保护装置.pdf

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本申请公开了一种晶圆保护装置，包括环状本体，所述环状本体具有中空部、及环绕所述中空部的内环面；晶圆设置在所述中空部内，晶圆的边缘位置抵靠在所述内环面形成对晶圆边缘的保护及定位；所述环状本体设置有至少一个定位件，所述定位件具有与所述中空部相背设置的定位部，且所述定位件可沿所述环状本体的径向移动调节；当晶圆保护装置使用一段时间后，定位部被磨损不能有效定位时，通过将定位件沿环状本体的径向向外调整，补偿磨损量，从而使晶圆保护装置满足定位要求，可以继续使用，从而节约了成本，具有较强的实用性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212392221 U (45)授权公告日 2021.01.22 (21)申请号 202021396746.6 (22)申请日 2020.07.15 (73)专利权人通富微电子股份有限公司