原创力文档- 1、本文档共6页，其中可免费阅读3页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开了一种互换式扩膜晶元装置，包括母环，所述母环安装在支架上；多个丝杆，所述丝杆竖直设置在母环上，所述丝杆上设置有滑块；升降环，所述升降环安装在滑块上；升降电机，所述升降电机安装在母环上；旋转电机，所述旋转电机安装母环上，所述旋转电机的转轴上设置有第二齿轮；旋转内圈，所述旋转内圈通过轴承安装在母环上；同步齿轮，所述同步齿轮安装旋转内圈底端，所述同步齿轮通过同步带与第二齿轮连接；上升底板，所述上升底板通过导向销钉与旋转内圈连接；盖板，所述盖板通过垫块安装在上升底板上；以及顶升圈，所述顶升
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212392216 U
(45)授权公告日 2021.01.22
(21)申请号 202021204972.X
(22)申请日 2020.06.28
(73)专利权人 深圳市劲拓微电子装备有限责任
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
文档评论（0）