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一种硅片搬运机构.pdfVIP

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  • 2023-02-09 发布于北京
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一种硅片搬运机构.pdf

    本实用新型提出一种硅片搬运机构。所述硅片搬运机构包括，用于搬运硅片的搬运部安装于机架；用于分离硅片的毛刷部运动安装于机架；所述毛刷部能够沿搬运部搬运的硅片边沿止抵于硅片，使毛刷部上的毛刷能够进入相互吸附的硅片之间；采用上述技术方案，通过采用毛刷插入相互吸附的硅片从而使硅片分离；此方案不同于常规采用气流使硅片分离；上述技术方案结构简单，仅需要毛刷部以及带动毛刷部运动的结构，结构简单，操作方便。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212412028 U (45)授权公告日 2021.01.26 (21)申请号 202021291618.5 (22)申请日 2020.07.06 (73)专利权人 矽电半导体设备（深圳）股份有限

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