一种用于气相沉积炉的尾气清理装置.pdfVIP

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2023-02-09 发布于四川
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一种用于气相沉积炉的尾气清理装置.pdf

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本实用新型公开了一种用于气相沉积炉的尾气清理装置，包括底座，所述底座的顶部安装有罐体，所述罐体的顶部开设有进气口，所述罐体的一侧安装有观察窗，所述罐体的内壁顶部安装有水溶处理室，所述水溶处理室的一侧安装有尾气管，所述水溶处理室的底部安装有横板，且尾气管贯穿横板，所述横板的底部安装有水箱，所述水箱的底部安装有若干个喷淋管，且若干个喷淋管贯穿在水箱的底部，所述罐体的内壁两侧均安装有基座，所述罐体的内壁靠近基座的下端安装有过滤板一，所述底座的内部安装有过滤室，且污水管贯穿连接在过滤室的内部；本实用新型

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212396285 U (45)授权公告日 2021.01.26 (21)申请号 202020971488.3 (22)申请日 2020.06.01 (73)专利权人四川巴顿航空设备制造有限公司