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一种掩模生产过程中的巡检装置.pdfVIP

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  • 2023-02-09 发布于北京
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一种掩模生产过程中的巡检装置.pdf

    本实用新型公开了一种掩模生产过程中的巡检装置，包括底盘，所述底盘顶部的中间位置处安装有支撑杆，所述支撑杆的外部套设有固定环，所述固定环的圆周面通过铰接轴安装有支腿，所述壳体两侧的安装板顶部安装有固定杆，所述望远镜正上方设置有防护罩，所述防护罩底部的两侧对称安装有连接杆，所述凹槽的内部安装有减震弹簧，所述连接杆的尾端设置在凹槽的内部，且连接杆的端部与减震弹簧连接。该一种掩模生产过程中的巡检装置，通过设置加固稳定功能和减震防护功能，有效避免在巡检的过程中设备发生移动，导致巡检出现偏差而需要重复巡检，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212411010 U (45)授权公告日 2021.01.26 (21)申请号 202021371143.0 (22)申请日 2020.07.14 (73)专利权人 无锡中微掩模电子有限公司

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