一种二氧化硅腐蚀预湿浸润液用生产线.pdfVIP

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  • 2023-02-09 发布于北京
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一种二氧化硅腐蚀预湿浸润液用生产线.pdf

本实用新型涉及一种二氧化硅腐蚀预湿浸润液用生产线,所述二氧化硅腐蚀预湿浸润液用生产线包含配制罐(1)、乙醇储罐(2)、异丙醇储罐(3)、n,n‑二甲基乙酰胺储罐(4)、氟碳表面活性剂储罐(5)、去离子水储罐(6)、层析柱(7)、滤芯(8)、检验装置(9)、三通阀(10)和成品储存罐(11);所述配制罐(1)的顶部设有五个进料口,五个进料口分别与乙醇储罐(2)、异丙醇储罐(3)、n,n‑二甲基乙酰胺储罐(4)、氟碳表面活性剂储罐(5)和去离子水储罐(6)通过管道相连,所述配制罐(1)的底部出料口与

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212396505 U (45)授权公告日 2021.01.26 (21)申请号 202021470632.1 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020

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