一种约瑟夫森结及其制备方法和应用.pdfVIP

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2023-02-10 发布于四川
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一种约瑟夫森结及其制备方法和应用.pdf

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本发明提供了一种约瑟夫森结及其制备方法和应用。所述制备方法包括以下步骤：（1）在衬底表面制备得到第一层钽层，对第一层钽层进行光刻，得到侧壁倾斜的下电极层；（2）在下电极层表面制备得到氧化钽层；（3）在氧化钽层表面制备第二层钽层，对第二层钽层进行光刻，得到上电极层，上电极层和下电极层交叠区域为所述约瑟夫森结。本发明提供的制备方法，通过优化光刻工艺步骤，解决了非阴影方式制备约瑟夫森结时下电极和上电极搭线断裂以及下电极侧壁残留导致的寄生结问题，避免了器件失效，大幅度提高成品率，保证器件性能。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115274999 A (43)申请公布日 2022.11.01 (21)申请号 202211197865.2 (22)申请日 2022.09.29 (71)申请人材料科学姑苏实验室地址 2151