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一种基板表面污染物取样装置.pdfVIP

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  • 2023-02-10 发布于四川
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一种基板表面污染物取样装置.pdf

    本实用新型提供了一种基板表面污染物取样装置，包括容纳腔、密封组件、盖体、至少一个超声波换能器以及设置于所述盖体上的进水管和出水管；所述容纳腔包括底座和围绕组件，围绕组件设置于所述底座上并围绕设置在底座的外侧，以限定出一容纳空间；密封组件围绕设置在容纳空间中，且抵靠围绕组件的内壁，密封组件在容纳空间中限定出一用于容纳基板的子开口；所述盖体用于覆盖容纳腔以密封容纳腔；所述至少一个超声波换能器设置在所述盖体上，用于朝向容纳腔的容纳空间发射超声波；所述进水管与一萃取液供给装置连接，所述出水管与一萃取液收

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212432551 U (45)授权公告日 2021.01.29 (21)申请号 202021248626.1 (22)申请日 2020.06.30 (73)专利权人 合肥晶合集成电路股份有限公司

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