原创力文档- 1
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- 2023-02-10 发布于四川
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本实用新型公开一种多组热丝反应装置，属于热丝气相沉积技术领域。所述多组热丝反应装置包括外壳，外壳内沿长度方向并排设有若干个移动平台，移动平台均通过滑动机构设置在外壳内，移动平台上均固定设置有反应室，反应室内均设置有热丝气相沉积反应组件；外壳内的顶部还固定设置有加热装置，加热装置的底部设置有衬底托盘，衬底托盘用于安装衬底。本实用新型提供的一种多组热丝反应装置中，多个反应室中可以装入不同种类的热丝，在需要沉积不同种类的薄膜时，能够避免因频繁地更换热丝而浪费时间；多个反应室能够同时工作，实现在同一块衬
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212426180 U
(45)授权公告日 2021.01.29
(21)申请号 202021153968.5
(22)申请日 2020.06.20
(73)专利权人 西南石油大学
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