适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极.pdfVIP

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2023-02-10 发布于四川
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适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极.pdf

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本实用新型公开了一种适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极，应用于具有曲面的镀膜工件，包括阴极座，阴极座具有与镀膜工件匹配的弧度截面，阴极座中央弧向设有磁钢槽；安装于磁钢槽内的永磁钢，永磁钢多段弧向排布于磁钢槽内；安装于阴极座且位于永磁钢上侧的铜隔板，铜隔板与永磁钢之间设有水冷通道；以及安装于铜隔板的靶材；其中，阴极座与永磁钢为弧形，且具有相同曲率。本实用新型通过弧形设置阴极，并利用铜隔板与永磁钢之间的水冷通道散热，避免以往在大曲率工件上采用平面阴极与旋转阴极进行磁控溅射镀膜的不适用性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212426162 U (45)授权公告日 2021.01.29 (21)申请号 202020931836.4 (22)申请日 2020.05.28 (73)专利权人江苏铁锚玻璃股份有限公司