一种溅射镀膜水汽捕集机辅助制冷系统.pdfVIP

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  • 2023-02-10 发布于四川
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一种溅射镀膜水汽捕集机辅助制冷系统.pdf

为了解决如何使得水蒸汽和油蒸汽在真空镀膜箱体内占比减少的问题,本实用新型提出一种溅射镀膜水汽捕集机辅助制冷系统,通过水汽捕集机和风冷式冷水机相互配合作用,使水蒸汽抽出快速凝结在制冷盘管表面,以达到快速抽真空,提高生产效率,提高镀膜质量的目的,因此,水汽捕集机与真空泵配合使用,较之单独使用真空泵会大幅提高生产效率,提高产品质量,快速吸附真空系统中的水蒸汽,油蒸汽,有效缩短抽真空时间30%~90%,提高镀膜质量,彻底解决膜层颜色不均,容易脱落现象。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212426163 U (45)授权公告日 2021.01.29 (21)申请号 202020991807.7 (22)申请日 2020.06.03 (73)专利权人 苏州锐世讯光学科技有限公司

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