一种半导体检测用椭偏仪.pdfVIP

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2023-02-10 发布于四川
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一种半导体检测用椭偏仪.pdf

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本实用新型公开了一种半导体检测用椭偏仪，包括底座，所述底座的顶部固定连接有连接块，所述连接块的背面活动连接有支撑块，所述支撑块的底部与底座的顶部活动连接，所述支撑块正面的两侧分别设置有线性偏振器和偏振分析器，所述底座的顶部固定连接有位于连接块正面的电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的顶端固定连接有台架。本实用新型通过设置电动伸缩杆、台架、第一电机、第一齿轮、第二齿轮和固定杆，能够带动固定板转动，通过设置第二电机和固定板，能够带动放置板转动，使椭偏仪便于使用，椭偏仪不需要手动在载物台上移动半导体，不易出现

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212432965 U (45)授权公告日 2021.01.29 (21)申请号 202020719488.4 (22)申请日 2020.05.06 (73)专利权人岳阳辉腾检测技术有限公司