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一种溅射镀膜抽真空系统.pdfVIP

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  • 2023-02-10 发布于四川
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一种溅射镀膜抽真空系统.pdf

    为了解决真空设备工作时，由于箱体内部空间很大，仅仅使用扩散泵5对真空镀膜设备腔体抽真空需要花费的很长时间，生产效率低的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜抽真空系统，包括真空室2、通过管道与真空室2连接的抽真空机构、真空检测机构和PLC控制系统1，当开机时，在抽低真空阶段，启动扩散泵5，关闭罗茨泵4和旋片泵3，在抽高真空阶段，旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5可以同时运行，这样就大大减少了抽低真空的时间，提高了生产效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212426174 U (45)授权公告日 2021.01.29 (21)申请号 202021071852.7 (22)申请日 2020.06.11 (73)专利权人 苏州锐世讯光学科技有限公司

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