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本实用新型提供一种具有通道测试功能的探针卡,包括电路板、至少两个探针、至少两个电路通道,转换电路、控制模块和至少两个测试元件;测试机通过控制模块向开关控制器件传输选择信号,以选择连通的开关器件,进而实现:控制所有开关器件B连通时,所述具有自测功能的探针卡能作为常规的探针卡使用,用于晶圆芯片测试;控制任意两个开关器件A连通时,能利用测试元件对这两个开关器件A所连接的电路通道进行测试。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212459794 U
(45)授权公告日 2021.02.02
(21)申请号 202020140748.2
(22)申请日 2020.01.21
(73)专利权人 杭州广立微电子股份有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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