一种真空腔体结构.pdfVIP

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2023-02-13 发布于四川
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一种真空腔体结构.pdf

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本实用新型公开了一种真空腔体结构，包括：母腔体和子腔体；所述子腔体位于所述母腔体内一侧，并置于所述母腔体的侧壁上；所述母腔体包括：母腔体抽真空管路；所述母腔体抽真空管路与所述母腔体连接；所述子腔体包括：密封门、可视门、载台、坩埚加热装置和子腔体抽真空管路；所述载台置于所述子腔体内，且所述坩埚加热装置于所述载台上方，用于加热坩埚；所述子腔体抽真空管路与所述子腔体连接；所述可视门活动设置于所述子腔体与所述母腔体共用的腔壁上；所述密封门活动设置于所述子腔体顶部。发生异常时，子腔体、母腔体可单独破真空并

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212476865 U (45)授权公告日 2021.02.05 (21)申请号 202021590001.3 (22)申请日 2020.08.04 (73)专利权人福建华佳彩有限公司