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本申请涉及一种涉及单晶炉的领域,尤其是一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,设置在主炉室的一侧并与副炉室相连接,包括支撑架、升降机构、旋转机构和连接副炉室的连接机构,所述的支撑架与主炉室机架相连,支撑架上设置有主轴,所述的升降机构设置在支撑架上并与主轴活动连接,所述的旋转机构设置在支撑架的顶部并与主轴相连接,所述的连接机构的一端与升降机构相连接,其另一端与旋转机构相连接,连接机构设置在主轴的侧面并与主轴固定连接。本申请具有提高了单晶炉运行的稳定性,保证了单晶炉在生产过程中能够长期安全、可靠运行的效果
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212476946 U
(45)授权公告日 2021.02.05
(21)申请号 202021775091.3
(22)申请日 2020.08.22
(73)专利权人 北京北方华创真空技术有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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