冷却装置及拉晶系统.pdfVIP

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2023-02-14 发布于四川
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冷却装置及拉晶系统.pdf

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本实用新型提供一种冷却装置及拉晶系统，冷却装置应用于拉晶系统，所述拉晶系统包括：炉体，所述炉体内设有一端开口的腔室，所述腔室的开口端用于穿过籽晶；坩埚，所述坩埚设置在所述腔室内，用于承载并熔融的多晶硅，籽晶用于与多晶硅熔液的表面接触；直径传感器，用于检测所述单晶硅棒的直径；所述冷却装置，包括：冷却管，冷却管设置在所述腔室内，冷却管包括用于输出冷却介质的出口端，出口端朝向所述多晶硅熔液的表面设置；控制模块，与所述冷却管相连，用于当所述单晶硅棒生长时，控制所述冷却管沿所述单晶硅棒的轴向向下移动，以使

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212533193 U (45)授权公告日 2021.02.12 (21)申请号 201920485343.X (22)申请日 2019.04.11 (73)专利权人西安奕斯伟硅片技术有限公司