一种原子层沉积镀膜设备的上下片系统.pdfVIP

下载本文档

1
0
约7.71千字
约 10页
2023-02-14 发布于四川
举报
版权申诉

一种原子层沉积镀膜设备的上下片系统.pdf

1、本文档共10页，其中可免费阅读5页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种原子层沉积镀膜设备的上下片系统，其特征在于：包括工艺真空室以及成膜室，其中所述成膜室位于所述工艺真空室的内部，在所述工艺真空室的底部下方设置有载入载出室，所述载入载出室与所述成膜室之间构成连通，所述载入载出室内设置有用于上下片的载台，所述载台连接有升降机构并可在其驱动下沿高度方向自所述载入载出室进出所述内腔成膜室，实现上下片。本实用新型的优点是：能够保证成膜工艺时的密闭性，同时避免微小颗粒物掉落至产品上，从而有效保证产品质量；热量散失小，减少再加热所需的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212533121 U (45)授权公告日 2021.02.12 (21)申请号 202021518755.8 (22)申请日 2020.07.28 (73)专利权人光