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超高真空束源炉坩埚除气装置.pdfVIP

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  • 2023-02-14 发布于四川
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超高真空束源炉坩埚除气装置.pdf

    本专利公开了一种超高真空束源炉坩埚除气装置，该装置包括：在真空腔室上通过第一刀口法兰与真空规管上的第五刀口法兰连接，通过第二刀口法兰与闸板阀上的第六刀口法兰连接，通过第三和第四刀口法兰分别安装2台束源炉上的第九刀口法兰连接。在闸板阀上通过第七刀口法兰与真空泵上的第八刀口法兰连接。该装置结构简单，在暴露大气后能快速恢复到超高真空度，束源炉装卸简单，极大地提高了束源炉坩埚除气的工作效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212533100 U (45)授权公告日 2021.02.12 (21)申请号 202020892165.5 (22)申请日 2020.05.25 (73)专利权人 中国科学院上海技术物理研究所

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