一种硅片烘干炉的硅片传送装置.pdfVIP

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2023-02-14 发布于四川
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一种硅片烘干炉的硅片传送装置.pdf

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本实用新型涉及硅片技术领域，且公开了一种硅片烘干炉的硅片传送装置，包括箱体，所述箱体的内部固定连接有支柱，所述支柱的内部固定连接有转轴，所述转轴的外壁固定连接有转盘，所述转盘的外壁活动连接有第一传送带，所述第一传送带的外壁固定连接有固定块，所述固定块的内部开设有固定槽，所述电动推杆的右侧固定连接有固定杆，所述固定杆的右侧固定连接有支架，所述支架的内部固定连接有进料管，所述进料管的左侧活动连接有活动管，所述箱体的内部固定连接有支撑柱，所述支撑柱的外壁活动连接有第二传送带。该硅片烘干炉的硅片传送装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212512328 U (45)授权公告日 2021.02.09 (21)申请号 202021087276.5 (22)申请日 2020.06.13 (73)专利权人衢州三盛电子有限公司