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本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆片中转装置。该中转装置包括支撑柱、支撑板以及托板，支撑柱相对设置有两排，每排支撑柱均包括两个沿竖向设置的支撑柱，每排支撑柱的两个支撑柱的内侧沿竖向间隔安装有多个支撑板，每个支撑板的顶面内侧均设置有定位槽，两个相对的支撑板的内侧之间具有距离，托板设置在位于底部的两个支撑板之间的下方，托板可操作地移动。本实用新型可一次性将多个晶圆片移动至不同工站，从而减少了人为操作对产品造成内在损伤，达到提高产品良率以及生产效率的目的。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212517141 U
(45)授权公告日 2021.02.09
(21)申请号 202021610933.X
(22)申请日 2020.08.06
(73)专利权人 武汉锐晶激光芯片技术有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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