光学芯片模组测试装置.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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光学芯片模组测试装置.pdf

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本实用新型揭示了光学芯片模组测试装置，包括匹配的上模组及下模组，所述上模组包括测试探针，所述下模组包括芯片放置座，所述芯片放置座上形成有芯片放置槽，所述芯片放置座上形成正对所述芯片放置槽且与芯片放置槽的槽底连通的安装空间，所述安装空间内可平移地设置有LENS。本方案通过在芯片放置座上形成与芯片放置槽对应的安装空间，并在其内设置位置可调地LENS，从而可以根据测试要求，灵活调整LENS的水平位置，以保证镜头中心与芯片光学中心的对中精度在0.01mm以内，有利于降低误差干扰，提高测试结果的精度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212569029 U (45)授权公告日 2021.02.19 (21)申请号 202020688841.7 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020