一种MEMS电容式开关.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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一种MEMS电容式开关.pdf

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本实用新型提供了一种MEMS电容式开关，包括衬底，设置于衬底表面的介质层、通过锚点架设在介质层上方的金属梁、设置于介质层表面并与金属梁相对的有效电极、设置于有效电极周侧的驱动电极以及设置于驱动电极和金属梁之间的介质柱，介质柱为柔性材质。本实用新型的金属梁在静电力作用下被拉至有效电容运动的过程中，碰到介质柱，由于介质柱为柔性材质，介质柱会被压缩，从而使得金属梁下表面与有效电容的上表面完全接触，提高了关态电容。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212587408 U (45)授权公告日 2021.02.23 (21)申请号 202020917609.6 (22)申请日 2020.05.26 (73)专利权人瑞声声学科技（深圳）有限公司