一种运动台与探测器同步控制的装置和方法.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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一种运动台与探测器同步控制的装置和方法.pdf

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本发明公开了一种运动台与探测器同步控制的装置和方法，装置包括运动台，运动台用于承载待测物；至少一个图像采集单元，图像采集单元包括：分光镜、成像物镜、探测器；同步控制器，同步控制器与运动台和至少一个探测器电连接；运动台每移动预设距离产生触发探测器拍照的信号，同步控制器用于对拍照的信号进行分频形成多个分频信号，探测器根据分频信号对待测物进行拍照，并在至少一次拍照后进行取像，使得探测器的拍照动作和取像动作与运动台的移动同步。从而，探测器进行取像时，可以刚好满足探测器的像素尺寸，避免了探测器取像的误差，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113252564 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 202110569756.8 (22)申请日 2021.05.25 (71)申请人上海御微半导体技术有限公司