一种硅片运输缓存装置.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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一种硅片运输缓存装置.pdf

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本实用新型公开了一种硅片运输缓存装置，包括盒体、固定单元、加固单元、固定板和T型滑槽；盒体：所述盒体的内部为中空，所述盒体内部底端的中部设有T型滑槽，所述固定板前后对应阵列在盒体内部的底端，所述盒体前侧面的顶端设有加固单元；固定单元：所述固定单元包含紧固板、固定块、丝杠和转轮，所述丝杠转动连接在盒体的内部，所述转轮设在盒体的左侧面，所述转轮的右端与丝杠的左端连接，所述丝杠的外侧阵列有固定块，紧固板有两个且分别设在每个固定块的前后两侧；其中，还包括合页和盒盖，盒盖顶端的后侧通过合页与盒体顶端开口处

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212580471 U (45)授权公告日 2021.02.23 (21)申请号 202020805832.1 (22)申请日 2020.05.15 (73)专利权人上海矽昊电子技术有限公司